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2011年2月特大号 196号

(2011/01/15)

フェローテック 世界シェアで約7割の真空シール技術をコアに中国での太陽電池用シリコンウエハの量産を本格化

山村 章 社長

東京海上日動火災に第三者割当

--フェローテックは、磁性流体とサーモモジュールからスタートし、半導体やFPD(フラットパネルディスプレイ)の製造装置に用いられる真空シールで世界シェアトップを維持しています。その真空シール技術を活用して現在もっとも力を注いでいるのが太陽電池関連事業ということですが、2010年11月には東京海上日動火災保険から第三者割当による無担保転換社債型新株予約権付社債の発行で20億円を調達しました。この資金の使途は?

「太陽電池用シリコン単結晶引上装置は、真空炉内(高温・低圧)の石英るつぼでシリコン原料を溶解後、単結晶の核となる種結晶をシリコン融液に浸漬し、その種結晶を回転させながら引き上げることで単結晶インゴットを製造する装置ですが、炉内の真空状態を維持しながら回転運動を伝える真空シール、高温でシリコン原料を溶かすホットゾーン、溶解したシリコンの受け皿となる石英るつぼも当社で製造しています。単結晶引上装置には、自社製品の真空シールが使われますが、

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